DG视讯

　　光刻胶作为电子化学品中手艺壁垒最高的质料，主要应用于集成电路芯片、半导体分立器件、发光二极管(LED)、新型显示、晶圆级先进封装、MEMS、印刷电路板(PCB)以及其他涉及到图形转移的制程
。半导体领域，现在海内集成电路用 i 线光刻胶国产化率 10% 左右，集成电路用 KrF 光刻胶国产化率缺乏 1%，ArF 干式光刻胶、 ArFi光刻胶、 EUV 光刻胶所有依赖入口;平板显示领域，现在海内OLED、高世代TFT-LCD显示用彩色光刻胶主要依赖入口
。为尽快推动海内高端光刻胶工业快速生长，阻止工业升级受制于人，同时增强手艺研发与交流，由中国电子质料行业协会、电子化工新质料工业同盟团结主理，中国感光学会支持，济南DG视讯集团承办的“2019•光刻胶先进手艺和工业应用钻研会”于2019年9月6日-8日在泉城济南乐成举行
。

大会现场

　　1)开幕式

　　聚会由中国电子质料行业协会常务副秘书长、电子化工新质料工业同盟秘书长鲁瑾主持
。济南DG视讯集团研发副总裁唐磊到会并致辞
。中国感光学会、北京化工大学聂俊教授，中国科学院大学、中国科学院化学研究所杨国强副校长，中国感光学会辐射固化专业委员会声誉主任、清华大学洪啸吟教授，江苏南大光电质料股份有限公司许从应副总裁，中芯国际北方集成电路立异中心康劲总司理，京东方科技集团股份有限公司赵荟鑫部长，山东大学、国家胶体质料工程手艺研究中心康文兵教授，潍坊星泰克微电子质料有限公司孙逊运董事长，默克集团公司郑金福产品开发部司理，DG视讯刘斌研发司理，常州强力电子新质料股份有限公司胡春青研发总监，阜阳欣奕华质料科技有限公司黄常刚BU总司理在会上做精彩报告
。

鲁瑾常务副秘书长

　　唐磊副总裁在致辞中指出，光刻胶在平板显示领域、半导体加工制造领域、PCB领域是要害质料，而中国现在自己能生产的比例还极其之少，而光刻胶的质料也是短板项目
。全球用于平板显示、IC的光刻胶市场规模抵达40亿美元以上，中国市场抵达90亿元人民币
。中美商业战，日韩商业战给中国带来了史无前例的机缘
。

唐磊副总裁

　　2)主题演讲

　　聂俊教授作了题为《光聚合基础与应用》的报告
。他指出，光聚合是以光为动力，让单体迅速转化为聚合物的聚合要领，具有反应条件温顺、反应速率快、没有三废排放、自动化水平高、产品质量稳固、节约能源的特点，在光刻胶生产历程中普遍应用
。

聂俊教授

　　杨国强副校长作了题为《超高细腻光刻胶研发》的报告
。他指出，半导体器件的工艺节点从10μm下降到10nm，主要是由于光刻手艺的飞速生长
。高等光刻胶制造业被其他国家、地区的公司垄断，特殊是日本和美国企业在市场和专利方面处于绝对的主导职位
。关于海内生长现状，他强调，海内光刻胶研发远远落伍于海内微电子制造业水平以致国际光刻胶研发水平，无法知足微电子工业生长需求;他指出，光刻胶已经成为了国家希望重点支持的基础电子化学品质料，系统地开展高等光刻胶研发及其生产工艺的研究，并有用组织相关工业化事情，对增进我国自主生长极大规模集成电路制造工业具有十分主要的战略意义
。

杨国强副校长

　　洪啸吟教授作了题为《光刻胶基础和无显影气相光刻手艺》的报告
。他指出，多层光刻手艺进一步提高了光致抗蚀剂的区分率，它可以战胜单层光刻中保存的衬底发射爆发的驻波、基片不平引起的漫反射、光路中的折射和衍射等问题
。提出了向古板挑战的无显影气相光刻手艺，并指出，无显影气相光刻是建设在光致诱蚀剂浓度差的基础之上，不需显影、图形区分率高、刻蚀纵宽比高，装备简朴、操作清静
。

洪啸吟教授

　　康劲总司理作了题为《集成电路工艺生长对光刻胶的手艺要求》的报告
。他指出，随着IC特征尺寸深亚微米生长，现有光刻胶已无法顺应新的光刻工艺，光刻机的曝光波长也在由紫外光谱向极紫外光、X射线生长，甚至接纳非光学光刻，光刻胶产品的综合特征也必需随之提高，才华切合集成工艺制程的要求
。半导体用光刻胶市场，海内企业份额缺乏30%，与国际先进水平保存较大差别
。凌驾80%市场份额掌握在日本住友、TOK、美国陶氏等公司手中，海内公司中，苏州瑞红与北京科华实现了部分品种的国产化，可是整体手艺水平较低，仅能进入8英寸集成电路生产线与LED等产线
。

康劲总司理

　　康文兵教授作了题为《半导体及显示器制造用光刻胶及周边质料》的报告
。他指出，光刻胶及周边质料乐成的要害在于工艺控制、情形控制和操作控制，应具有现实应用开发履历、量产履历，同时供应稳固性及本钱很主要
。

康文兵教授

　　许从应副总裁作了题为《先进光刻胶现状》的报告，赵荟鑫部长作了《显示负性光刻胶现状》的报告，郑金福司理作了题为《光刻胶手艺与应用》的报告，孙逊运董事长作了题为《先进封装用光刻胶及其光刻胶手艺展望》的报告，刘斌司理作了题为《光刻胶用聚合物概述》的报告，胡春青研发总监作了《彩色和玄色光刻胶用高感度光引发剂》的报告，黄常刚BU总司理作了题为《欣奕华彩色光刻胶产品希望》的报告，报告内容富厚，前瞻性突出
。

　　3)主题钻研

　　钻研环节，各人知无不言，知无不言
。厦门天马、中电熊猫、鼎材科技、德纳化学等企业代表对下一步海内光刻胶行业怎样生长睁开了热情讨论，给出了许多中肯的意见和建议，为海内下一步光刻胶生长提供了很好的参考
。

主题钻研

　　4)旅行考察

　　聚会第二天，与会的七十多名代表共赴DG视讯集团旅行考察
。DG视讯集团现在是中国平板显示、芯片级光刻胶、PCB油墨用配套树脂最大的供应商，是中国电子质料行业50强、电子化工质料专业10强企业
。产品主要是电子级酚醛树脂和电子环氧树脂
。现在DG视讯集团也加入了攻克国家亟需的卡脖子手艺问题的阵列中，已完成5G电路板专用化学品研发事情，即将量产
。DG视讯还起劲开发用于半导体芯片、显示器件配套高端电子树脂，致力于为中国电子化学品领域做一份孝顺
。

DG视讯旅行

　　结语：

　　本次钻研会共吸引了京东方、天马微电子、南大光电、苏州瑞红、北旭电子、上海新阳、阜阳欣奕华、强力新材、江苏广信等上下游企业，南开大学、北科大、北师大、北化大、深圳研究所等相关高校和科研机构共计逾90家单位，近160名代表参会，对光刻胶工业康健生长起到了强有力的增进作用
。作为一个大国，我国有生长光刻胶的须要性和刻意，光刻胶工业的生长，自主立异才是硬原理，期待各人携手做强光刻胶工业
。最后衷心谢谢中国感光学会和济南DG视讯集团对本次大会的鼎力大举支持
。

(本文转自：电子化工新质料工业同盟)